【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光波导温度传感器，具体涉及一种基于微环谐振腔的温度传感器及其测试方法。
技术介绍
1、温度传感器在工业、科技的很多领域中是一个极为重要的参数，温度在生产生活过程中的产品质量、生产效率、能源消耗和生产安全等方面都具有严格的要求，目前，温度传感器在各个领域的使用数量已经达到众多类型传感器中的第一位。光学温度传感器凭借其高精度和高可靠性在温度测量领域成为佼佼者。光学温度传感器的特点包括非接触式测量方式确保了测量的精准性和安全性、快速响应能力支持实时监测和控制和广泛的测量范围满足多样化需求。随着技术进步，光学温度传感器的性能不断提升，采用先进光学技术和信号处理算法，为各种应用提供可靠解决方案。
2、光波导温度传感器是一种重要的光学传感器类型，基于先进的光波导技术和波导材料的热敏感性，能够精确测量温度，同时拥有电磁干扰抗性、高精度以及在恶劣环境下的安全性。在化工、航天、医疗等多个领域中，光波导温度传感器已成为不可或缺的测温设备。其中，微环温度传感器因其小巧的体积和高度的集成化设计，在多个行业应用中表现出色。采用先进的半导...
【技术保护点】
1.一种基于微环谐振腔的温度传感器，用于连接可调谐激光光源以及探测器，其特征在于，包括：可调谐激光光源连接输入光栅耦合器，输入光栅耦合器通过输入锥形波导连接有微环谐振腔，微环谐振腔通过输出锥形波导连接输出光栅耦合器；所述输出光栅耦合器与探测器连接。
2.根据权利要求1所述的基于微环谐振腔的温度传感器，其特征在于，所述微环谐振腔的芯层波导采用宽波导。
3.根据权利要求1所述的基于微环谐振腔的温度传感器，其特征在于，所述微环谐振腔中的锥形波导用于连接两种不同宽度的波导。
4.根据权利要求1所述的基于微环谐振腔的温度传感器，其特征在于，所...
【技术特征摘要】
1.一种基于微环谐振腔的温度传感器，用于连接可调谐激光光源以及探测器，其特征在于，包括：可调谐激光光源连接输入光栅耦合器，输入光栅耦合器通过输入锥形波导连接有微环谐振腔，微环谐振腔通过输出锥形波导连接输出光栅耦合器；所述输出光栅耦合器与探测器连接。
2.根据权利要求1所述的基于微环谐振腔的温度传感器，其特征在于，所述微环谐振腔的芯层波导采用宽波导。
3.根据权利要求1所述的基于微环谐振腔的温度传感器，其特征在于，所述微环谐振腔中的锥形波导用于连接两种不同宽度的波导。
4.根据权利要求1所述的基于微环谐振腔的温度传感器，其特征在于，所述微环谐振腔的波导结构采用上下对称型波导，芯层波导材料是硅，包层波导材料是二氧化硅。
5.根据权利要求1所述的基于微环谐振腔的温度传感器，其特征在于，所述微环谐振腔波导的传输模式采用横电模式。
6...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏国帅，马正泰，曹丽敏，
申请(专利权)人：苏州微光电子融合技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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