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本发明涉及一种微机电元件制作方法，包含：提供一个第零层基板；在该基板上形成微机电元件区域，在此微机电元件区域中设置有第一牺牲区域，以将微机电元件的悬浮结构部分与微机电元件的其它部分区隔开；蚀刻去除该第一牺牲区域；以及针对该第零层基板进行微加...
该专利属于原相科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过原相科技股份有限公司授权不得商用。

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