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用于等离子体产生系统的控制器包括模型评估模块，该模型评估模块接收依照由RF发电机控制的等离子体的状态而变化的感测值。模型评估模块生成依照该感测值而变化的等离子体参数。模型集成模块接收等离子体参数，集成该等离子体参数，并且输出集成模型参数。I...
该专利属于MKS仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过MKS仪器有限公司授权不得商用。

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