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本发明提供了一种用于评估物体的方法、系统和计算机程序产品；该方法包括：（ｉ）获得物体的区域的图像；其中该区域包括至少部分地由至少一组非重复区域围绕的多个阵列的重复结构元件；其中属于单一组非重复区域的非重复区域理想地为彼此相同；其中所述非重复...
该专利属于以色列商.应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过以色列商.应用材料以色列公司授权不得商用。

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