下载一种高效晶圆切割设备的技术资料

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本技术提供了一种高效晶圆切割设备,包括工作台,所述工作台顶部开设有通槽,所述通槽内部设有两个对称且滑动的滑动座,所述滑动座内部设有两个对称且滑动的滑动板,两个所述滑动板相对一侧均连接有夹持板。本技术通过通槽、滑动座、第一双向螺杆和第一电机之...
该专利属于上海东沅集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海东沅集成电路有限公司授权不得商用。

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