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间层电介质和预施涂的模片连接粘合剂材料制造技术
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文档序号:4259097
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本发明涉及间层电介质材料和预施涂的模片连接粘合剂,更具体地预施涂的模片连接粘合剂(如芯片或其它衬底施涂的模片连接粘合剂),施涂间层电介质材料到衬底上以制备低K介电半导体芯片的方法,施涂预施涂的模片连接粘合剂到芯片和其它表面上的方法,和由其制...
该专利属于亨凯尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过亨凯尔公司授权不得商用。
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