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本发明公开了一种用于生产He<supgt;2+</supgt;的动态ECR离子源放电腔，该ECR离子源放电腔包括：馈入部分、离子源部分、引出部分；馈入部分依次设有微波系统、微波窗、以及进气口；离子源部分包括外层的磁体系统以及内层...
该专利属于中国原子能科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国原子能科学研究院授权不得商用。

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