一种用于生产He2+的动态ECR离子源放电腔制造技术

技术编号:42588072 阅读:41 留言:0更新日期:2024-09-03 18:04
本发明专利技术公开了一种用于生产He<supgt;2+</supgt;的动态ECR离子源放电腔,该ECR离子源放电腔包括:馈入部分、离子源部分、引出部分;馈入部分依次设有微波系统、微波窗、以及进气口;离子源部分包括外层的磁体系统以及内层的放电腔;其特点是:在外层的磁体系统以及内层的放电腔之间还设有直径可调的放电腔内衬,该等离子体电极柱与等离子体电极盘之间为螺纹连接;该等离子体电极柱伸进放电腔的长度能够随着放电腔内衬直径的变化而变化,本发明专利技术通过适当减小放电腔的直径进而提高引出的流强,同时改变等离子体电极柱伸入放电腔的距离,从而改变等离子体电极柱所在位置的磁场强度,解决放电腔引出口磁场强度过大时,引出口出现高压打火的现象和束流发射度增大的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于回旋加速器,特别涉及一种用于生产he2+的动态ecr离子源放电腔。


技术介绍

1、多电荷离子(mcis)是提高加速器粒子输出能量的必要条件。与源体尺寸很大的高频ecr离子源相比,制造低频(例如2.45ghz)ecr源更经济。低频2.45ghzecr离子源具有结构紧凑、寿命长、源运行稳定以及经济成本低等优点。因此,一些研究人员建议使用2.45ghzecr离子源来产生中等电荷的离子束流。

2、对于2.45ghzecr离子源,在产生单电荷态正离子方面已经取得了显著成果,但是对于2.45ghzecr离子源引出混合氦束方面的成果还远远不够,所述混合氦束主要包括he2+和he+等离子,产生he2+离子过程和产生质子不同的是氦原子要先与电子发生一次碰撞电离产生he+离子,he+离子再与氦原子或电子发生二次碰撞电离才能产生氦二正离子。

3、利用2.45ghzecr离子源产生he2+,需要碰撞二次,期间牵扯复合、电荷交换、扩散损失的过程,正是因为有复合、电荷交换、扩散损失的过程,所产生的氦二正的比例就特别特别小,混合束中he2+的产额远本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于生产He2+的动态ECR离子源放电腔,该ECR离子源放电腔沿着微波入射的方向包括:馈入部分、离子源部分、引出部分;该馈入部分依次设有微波系统(1)、微波窗(3)、以及进气口(2);该离子源部分包括外层的磁体系统(5)以及内层的放电腔(4);该引出部分包括等离子体电极柱(7)和放置等离子体电极柱(7)的等离子体电极盘(9)、以及束流引出系统中的其他电极(8),其特征在于:

2.根据权利要求1所述一种用于生产He2+的动态ECR离子源放电腔,其特征在于:该放电腔内衬套(6)装在放电腔(4)内,为圆筒形,放电腔内衬(6)的外径等于放电腔(4)的内径。

3.根...

【技术特征摘要】

1.一种用于生产he2+的动态ecr离子源放电腔,该ecr离子源放电腔沿着微波入射的方向包括:馈入部分、离子源部分、引出部分;该馈入部分依次设有微波系统(1)、微波窗(3)、以及进气口(2);该离子源部分包括外层的磁体系统(5)以及内层的放电腔(4);该引出部分包括等离子体电极柱(7)和放置等离子体电极柱(7)的等离子体电极盘(9)、以及束流引出系统中的其他电极(8),其特征在于:

2.根据权利要求1所述一种用于生产he2+的动态ecr离子源放电腔,其特征在于:该放电腔内衬套(6)装在放电腔(4)内,为圆筒形,放电腔内衬(6)的外径等于放电腔(4)的内径。

3.根据权利要求1所述一种用于生产he2+的动态ecr离子源放电腔,其特征在于:放电腔内衬(6)尺寸可调的范围在30~60mm之间。

4.根据权利要求1所述一种用于生产he2+的动态ecr离子源放电腔,其特征在于:放电腔内衬(6)采用铝材料。

5.根据权利要求1所述一种用于生产he2+的动态ecr离子源放电腔,其特征在于:当放电腔内衬(6)从...

【专利技术属性】
技术研发人员:贾先禄张贺蒲禧朱晓峰农竹杰丁傲轩王羲
申请(专利权)人:中国原子能科学研究院
类型:发明
国别省市:

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