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AlGaN/GaN超晶格电控异质透反射重构器件及制备方法技术
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文档序号:42587200
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本发明公开了AlGaN/GaN超晶格电控异质透反射重构器件及制备方法,包括衬底,衬底上依次设置有顶层透/反射区域、二氧化硅层V、钝化层,衬底上设置有两个隔离区,两个隔离区的顶部贯穿顶层透/反射区域,顶层透/反射区域上且位于两个隔离区之间设置...
该专利属于西安理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工大学授权不得商用。
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