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本技术提供了一种前端输送装置以及半导体检测设备，前端输送装置包括安装板、限位组件以及晶圆匣；限位组件包括多个前端限位件以及多对后端限位件，每个前端限位件、每对后端限位件在安装板上依次间隔设置；晶圆匣的部分卡入相邻的两个前端限位件之间的间隙中...
该专利属于东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司授权不得商用。

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