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本发明提供一种即使在高温检查中探针卡热膨胀也始终能够以适当的接触负载进行检查的检查装置。本发明的检查装置（１０）具有能够调节温度的载置台（１１）、升降驱动机构（１２）、探针卡（１３）和控制装置（１４），升降驱动机构（１２）包括：使载置台（１...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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