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3D传感器的制备方法和3D传感器技术
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文档序号:42581347
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本发明的实施例提供了一种3D传感器的制备方法和3D传感器,涉及传感器技术领域,首先在硬质薄膜上制备阵列分布的多个贴装图案单元,然后在图案化后的硬质薄膜上贴装传感芯片,然后将硬质薄膜对准至锥台阵列衬底上方,最后将硬质薄膜压合在锥台阵列衬底上。...
该专利属于苏州矩阵光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州矩阵光电有限公司授权不得商用。
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