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本发明公开了一种等离子过滤装置、半导体的工艺设备，及其工艺方法。等离子过滤装置包括：基座，其输入端通过离子输送管连接远程等离子体源，以获取具有还原性的原子及其带电粒子，其输出端连接反应腔，以输出所述具有还原性的原子；以及第一极板和第二极板，...
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