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本申请涉及一种晶圆提升干燥方法，晶圆先在第一位置进行第一预设时间的干燥，再在提升一定高度的第二位置进行第二预设时间的干燥，由于晶圆在第一位置和第二位置时，晶圆与晶圆升降机构的接触位置、晶圆与旋转支撑块的接触位置不同，因此，能够起到更好地干燥...
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