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本发明提供了一种集成三轴光纤陀螺芯片架构，通过采用双层SiN方案，在第一层SiN上进行端面耦合器、分束器等核心器件的单片集成，当需要进行波导交叉时，通过层间耦合器把光引入第二层SiN上经过交叉区域，再通过层间耦合器返回第一层波导，其他器件在...
该专利属于联合微电子中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过联合微电子中心有限责任公司授权不得商用。

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