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本发明涉及类金刚石薄膜技术领域，提供了一种耐冲击渐变层类金刚石薄膜及其制备方法。本发明以碳钯为靶材，采用磁控溅射法在基体表面制备类金刚石薄膜，并利用基体偏压的大小来调节膜层的软硬度，发明人发现，随着基体偏压的降低，溅射所得膜层的硬度逐渐升高...
该专利属于上海康碳复合材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海康碳复合材料科技有限公司授权不得商用。

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