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本发明涉及应用于晶圆夹具相关技术领域的一种低损伤率的晶圆夹持单元，本发明改变现有技术中两点夹持定位的方式，而是采用对晶圆边缘三点夹持的方式，一方面，三点夹持稳定性更高，另一方面，在夹持时局部受力相对较小，相较于现有技术，既能有效避免晶圆掉落...
该专利属于无锡展硕科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡展硕科技有限公司授权不得商用。

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