温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种使用照相机用于机械手校准的方法和系统。在一个实施 例中，用于执行机械手校准的方法包括人工校准关于目标对准的机械手叶 片的中心。该方法进一步包括记录关于照相机对准的机械手叶片的中心的第 一位置值。该方法进一步包括自动确定关于照相...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。