下载碳化硅功率器件的制备方法、碳化硅功率器件及电子设备的技术资料

文档序号:42544399

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种碳化硅功率器件的制备方法、碳化硅功率器件及电子设备,属于半导体技术领域。该方法包括:提供碳化硅层;在碳化硅层上形成第一掩膜层,第一掩膜层包括至少一个第一注入窗口;在第一掩膜层背离碳化硅层的一面形成第二掩膜层,第二掩膜层沿第一...
该专利属于安徽长飞先进半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽长飞先进半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。