温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供了光学检查装置和光学检查方法。光学检查装置包括：光学检查主体，该光学检查主体上安装有目标衬底；高分辨率相机，该高分辨率相机与目标衬底间隔开并且被布置在光学检查主体中，其中，高分辨率相机拍摄高分辨率图像；以及图像转换器，该图像转换器将高分...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。