光学检查装置和光学检查方法制造方法及图纸

提供了光学检查装置和光学检查方法。光学检查装置包括：光学检查主体，该光学检查主体上安装有目标衬底；高分辨率相机，该高分辨率相机与目标衬底间隔开并且被布置在光学检查主体中，其中，高分辨率相机拍摄高分辨率图像；以及图像转换器，该图像转换器将高分辨率图像转换为低分辨率图像，其中，图像转换器包括灰度均匀器，该灰度均匀器调整高分辨率图像的灰度以允许高分辨率图像之间的灰度偏差等于或小于偏差参考值。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及光学检查装置和使用光学检查装置的光学检查方法。

技术介绍

1、通常，光学检查装置基于光学系统检查异物或污点。光学检查装置可以通过在包括衬底工艺、沉积工艺和模块工艺的各种制造工艺期间获得图像来检查异物。

2、高分辨率光学检查装置执行用于扫描高分辨率相机多次并且检查图像的微观检查，并且低分辨率光学检查装置执行用于使用低分辨率相机拍摄照片一次并且检查图像的宏观检查。

3、例如，在衬底工艺中使用的光学检查装置必须是用于检测具有每像素0.6微米(μm)至3μm的尺寸的异物的高分辨率光学检查装置，以检测等于或小于1μm的细小异物，并且在沉积工艺中使用的光学检查装置必须是用于检测具有每像素10μm至30μm的尺寸的异物的低分辨率光学检查装置，以检测有机膜的污点。

技术实现思路

1、当通过使用高分辨率光学检查装置来检查异物时，将目标检查区中的图像与相邻检查区的图像进行比较以检查是否存在异物，并且可能在异物大于目标检查区时难以准确地检查异物。即，可能难以通过使用高分辨率光学检查装置来执行宏观检本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学检查装置，包括：

2.根据权利要求1所述的光学检查装置，其中，

3.根据权利要求1所述的光学检查装置，其中，

4.根据权利要求3所述的光学检查装置，其中，

5.根据权利要求1所述的光学检查装置，其中，

6.根据权利要求5所述的光学检查装置，其中，

7.根据权利要求6所述的光学检查装置，其中，

8.一种光学检查方法，包括：

9.根据权利要求8所述的光学检查方法，其中，

10.根据权利要求9所述的光学检查方法，其中，

【技术特征摘要】

1.一种光学检查装置，包括：

2.根据权利要求1所述的光学检查装置，其中，

3.根据权利要求1所述的光学检查装置，其中，

4.根据权利要求3所述的光学检查装置，其中，

5.根据权利要求1所述的光学检查装置，其中，

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【专利技术属性】
技术研发人员：李炯珍，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：