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利用于半导体的制造设备以及制造方法技术
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下载利用于半导体的制造设备以及制造方法的技术资料
文档序号:4254207
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一种利用以制造半导体的制造设备以及制造方法,利用于一湿式工艺化学槽中,利用三个螺旋状错位排列的磁性物体,先对管道本体中管道路径所流通的化学液加以磁化,所述的化学液包含蚀刻液、剥离液、或清洗液等,如此,可提高此半导体湿式工艺的效率。...
该专利属于鼎岳科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鼎岳科技股份有限公司授权不得商用。
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