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本技术提供一种晶圆温度传感器的温度校准设备，用于对晶圆温度传感器进行校准，包括外壳(2)，其特征在于，所述外壳(2)内设置有保温容器(3)、加热丝(4)以及温度探头(5)，其中，所述保温容器(3)用于实现均匀的稳定温度场；所述加热丝(4)用...
该专利属于上海集迦电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集迦电子科技有限公司授权不得商用。

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