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本申请涉及光刻胶水滴角检测技术领域，具体涉及基于特征提取的增粘单元水滴角检测方法，该方法包括：提取增粘图像中的光刻胶区域，确定光刻胶区域各边界像素点的水滴角评估系数；构建各光刻胶区域的区域水滴角判定序列；基于各光刻胶区域的区域水滴角判定序列...
该专利属于江苏雷博微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏雷博微电子设备有限公司授权不得商用。

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