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本技术公开了用于晶圆表面粒子层沉积的加工装置以及MOCVD设备，该加工装置包括：中心区域设置有喷射装置，用于喷射沉积粒子气流的盖板；具有环形结构的气体收集器，气体收集器的内部设置有气流通道，内壁上设置有和气流通道相连通的第一吸气孔，气体收集...
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