下载一种用于去除晶圆表面Ni/Ag镀层的溶液及其应用方法的技术资料

文档序号:42531608

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本发明公开了一种用于去除晶圆表面Ni/Ag镀层的溶液及其应用方法,本发明示出了一种能够高效去除晶圆表面镀层(Ni/Ag)的溶液及其应用方法。相较于现有技术,本发明具有腐蚀效率高、成本低、操作简便、环境友好等优点,适用于半导体制造和后处理工艺...
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