温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供了一种顶针保护机构、一种晶圆升降机构，以及一种加热盘。所述顶针保护机构包括固定部及保护钩。所述固定部位于所述顶针保护机构的下部，以固定连接升降台。所述保护钩位于所述固定部之上，用于在所述升降台回落时，向下牵引未正常回落的顶针重锤。...
该专利属于拓荆科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。