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本发明公开了一种光刻物镜和光刻设备，涉及光学系统技术领域，其中，光刻物镜具有沿光轴方向对应设置的物侧和像侧，光刻物镜包括由物侧到像侧依次布设的第一透镜至第二十透镜；其中，第一透镜和第二十透镜设置为平面透镜，第二透镜、第三透镜、第六透镜、第七...
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