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抛光设备（１）具有抛光垫（２２）、用于夹持半导体晶片（Ｗ）的顶环（２０）、可操作地沿垂直方向移动顶环（２０）的垂直运动机构（２４）、当顶环（２０）的下表面接触抛光垫（２２）时可操作地检测顶环（２０）的距离测量传感器（４６）、可操作地基于距离...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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