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本发明公开了一种刮刀装置、废气处理设备以及沉积物清理方法，所述刮刀装置包括：进气管道，用于向废气处理设备内通入废气；气缸驱动组件，与进气管道的一端连接；刮刀，位于进气管道内部，且一端与气缸驱动组件连接；气缸驱动组件用于驱动刮刀在进气管道内反...
该专利属于浙江亚笙半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江亚笙半导体设备有限公司授权不得商用。

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