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一种微光刻系统(100)，包括：气候室(110)，其封闭气氛；打印设备(120)，用于将光束投射到光敏抗蚀剂上，打印设备布置在气候室中；流体储存器(130)，流体储存器被布置成容纳导热流体并且被布置成与所述气氛热连接以在所述气氛与所述导热流...
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