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本发明属于晶圆加工技术领域，尤其是一种碳化硅晶圆切割设备，针对现在晶圆切割在晶圆的底部载台以及切割方式上存在晶圆切割浪费的问题，现提出以下方案，包括主机箱，所述主机箱的前侧底部位置通过螺栓固定有前置底座，所述主机箱的底部内壁设置有载台机构，...
该专利属于南通罡丰科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通罡丰科技有限公司授权不得商用。

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