下载固态装配型横向激励的薄膜体声波谐振器的技术资料

文档序号:42502579

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公开了谐振器器件、滤波器器件和制造方法。谐振器器件包括基板和具有平行的正面和背面的单晶压电板。一声布拉格反射器,夹在基板的表面和单晶压电板的背面之间。一叉指换能器(IDT),在正面上形成。IDT被配置为响应于施加到IDT的射频信号来激励压电...
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