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本公开提供了一种压电器件及其制备方法、电子设备，涉及压电器件技术领域。压电器件的制备方法，包括：提供基板；所述基板包括衬底以及设置在所述衬底表面的底电极层；对所述基板进行退火处理；在所述底电极层的表面制备压电薄膜。由于压电薄膜的取向受底电极...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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