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本发明涉及气体处理技术领域，公开一种洗涤器。其中洗涤器包括第一处理单元、第二处理单元、第三处理单元和收集单元；第二处理单元设置与第一处理单元和第三处理单元的下方，收集单元设置于第二处理单元的下方；第一处理单元包括待处理气体进口、反应气体进口...
该专利属于浙江思辰半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江思辰半导体设备有限公司授权不得商用。

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