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文档序号:42495879

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本发明实施例提供了一种工艺参数修正方法。该方法包括:根据长度功率关系信息和第一拉速控制功率调整量,调整直拉单晶设备的设定功率,检测晶体生长处的变形程度,当等径长度达到预设长度节点,将第一拉速控制功率调整量作为功率修正量,根据变形程度、变形阈...
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