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一种硅棒切割液回收处理系统技术方案
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文档序号:42495061
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本发明提供了一种硅棒切割液回收处理系统,属于晶硅切割的技术领域,本发明提供的一种硅棒切割液回收处理系统包括设置在机体上并位于滑轨两侧的收集槽,两个收集槽的中部位于金刚石切割线下方的位置开设有回收口,回收口的下方连通有带有排液口的回收腔,回收...
该专利属于唐山晶玉科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过唐山晶玉科技股份有限公司授权不得商用。
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