下载一种还原炉生产状态监测系统的技术资料

文档序号:42494207

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本发明涉及多晶硅生产领域,具体涉及一种还原炉生产状态监测系统。目的在于解决多晶硅生产中还原炉全生产周期状态监测的精确性和自动化控制问题,提升生产安全和工艺控制效率。主要方案包括高精度的传感器网络,实时监测炉内关键参数,并通过数据预处理和分析...
该专利属于青海亚洲硅业多晶硅有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青海亚洲硅业多晶硅有限公司授权不得商用。

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