一种还原炉生产状态监测系统技术方案

技术编号:42494207 阅读:29 留言:0更新日期:2024-08-21 13:12
本发明专利技术涉及多晶硅生产领域,具体涉及一种还原炉生产状态监测系统。目的在于解决多晶硅生产中还原炉全生产周期状态监测的精确性和自动化控制问题,提升生产安全和工艺控制效率。主要方案包括高精度的传感器网络,实时监测炉内关键参数,并通过数据预处理和分析模块对数据进行清洗、校准和深入分析,以提供生产状态信息和预警提示。采用工业级无线网络进行数据传输,确保数据安全。智能预警与故障诊断单元能够自动检测异常状态,并提供故障诊断和解决建议。所有数据被存储在加密的云数据库中,远程监控与智能控制单元允许通过开发的界面进行远程监控,并基于数据分析实现智能控制策略,以提高生产效率和安全性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多晶硅生产领域,具体涉及一种还原炉生产状态监测系统


技术介绍

1、传统的还原炉运行状态监测,是根据实时采集到的还原炉的运行参数,设定不同状态下的参数条件,来判断还原炉此时的运行状态,比如待启动、启炉、启炉氢气置换、启炉氮气置换、正常运行、停炉和出炉等状态,实时监测还原炉的运行状态和运行时长,对于生产安全和工艺控制进行指导,但以上几个状态仅为还原炉正常生产过程中的七大步骤,实际生产过程中还有其他多种状态或工况,比如雾化、倒棒、缺相、高温条件下水管震动等情况,都会对产品质量和电耗、料耗产生影响,传统的还原炉运行状态监测显然无法达到如此精确的状态监测。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于解决多晶硅生产中还原炉全生产周期状态监测的精确性和自动化控制问题,提升生产安全和工艺控制效率。

2、为了实现上述目的本专利技术采用以下技术方案:

3、一种还原炉生产状态监测系统,包括以下模块,

4、高精度温度传感器,包括气氛传感器和物料状态传感器,部署于炉内关键位置,用于实时采本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种还原炉生产状态监测系统,其特征在于:包括以下模块,

2.根据权利要求1所述的还原炉运行状态监测系统,其特征在于,所述高精度温度传感器,气氛传感器和物料状态传感器进一步用于监测炉内温度、气氛、物料状态的关键参数,实现对还原炉全生产周期各个阶段各个状态的监测。

3.根据权利要求1所述的还原炉生产状态监测系统,其特征在于,所述数据处理和分析模块进一步包括数据预处理单元,用于对采集到的各种传感器的原始数据进行初步处理,以及中央数据分析单元,用于对预处理后的数据进行深入分析,生成生产状态报告和预警信息。

4.根据权利要求3所述的还原炉运行状态监测系统,其...

【技术特征摘要】

1.一种还原炉生产状态监测系统,其特征在于:包括以下模块,

2.根据权利要求1所述的还原炉运行状态监测系统,其特征在于,所述高精度温度传感器,气氛传感器和物料状态传感器进一步用于监测炉内温度、气氛、物料状态的关键参数,实现对还原炉全生产周期各个阶段各个状态的监测。

3.根据权利要求1所述的还原炉生产状态监测系统,其特征在于,所述数据处理和分析模块进一步包括数据预处理单元,用于对采集到的各种传感器的原始数据进行初步处理,以及中央数据分析单元,用于对预处理后的数据进行深入分析,生成生产状态报告和预警信息。

4.根据权利要求3所述的还原炉运行状态监测系统,其特征在于,数据预处理单元包括以下模块:

5.根据权利要求4所述的还原炉运行状...

【专利技术属性】
技术研发人员:郝晓琼王喆
申请(专利权)人:青海亚洲硅业多晶硅有限公司
类型:发明
国别省市:

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