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本发明提供一种湿法刻蚀系统及湿法刻蚀终点判断方法，该湿法刻蚀系统包括循环模块、晶圆处理系统、中央控制系统及厂务系统，其中，循环模块包括循环槽及设有离子浓度检测装置和循环泵的第一管路；晶圆处理系统包括设有温度检测装置的晶圆处理单元及储液槽，晶...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

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