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基板上的树脂固化物的制造方法技术
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文档序号:42493655
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提供灵敏度和分辨率稳定、层压工序后能得到良好的树脂层的状态的树脂固化物的制造方法。本发明为使用具备树脂层和第1薄膜的层叠结构体在基板上制造树脂固化物的方法,基板上的树脂固化物的制造方法包括如下步骤:将层叠结构体中的树脂层和第1薄膜以该树脂层...
该专利属于太阳控股株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过太阳控股株式会社授权不得商用。
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