下载单元电路中用于减小电阻的沟槽电源轨以及相关电源分配网络和制造方法的技术资料

文档序号:42493618

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一种集成电路包括沟槽电源轨,该沟槽电源轨用以减小电源轨中的电阻,或者避免金属导线的大小随着技术节点的大小减小而减小所引起的电源轨电阻增大。该沟槽电源轨形成在单元电路之间的隔离区中。该隔离区中的单元隔离沟槽提供额外体积,在该体积中设置用于形成...
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