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本发明公开了一种纳米压印晶圆良品率检测设备及方法，涉及纳米压印技术领域，本发明包括工作仓，所述工作仓的内部顶部固定安装有液压缸，所述液压缸的底部固定连接有上模板，所述上模板的底部固定安装有软模具，本发明通过角度变换机构的设置，使得开启电机B...
该专利属于青岛天仁微纳科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛天仁微纳科技有限责任公司授权不得商用。

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