下载半导体结构的形成方法的技术资料

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一种半导体结构的形成方法,包括:提供基底,基底上形成有图形材料层,图形材料层上形成有第一核心材料层,包括沿第一方向交替排列的第一区和第二区;对部分或全部第一区的第一核心材料层进行离子注入处理,形成第二核心材料层,使第二核心材料层的耐刻蚀度大...
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