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本发明公开了一种微焦点X射线的产生装置，该产生装置中电子注入模块用于向加速器模块注入第一电子束。谐振腔本体用于接收并加速第一电子束，偏转磁铁用于偏转第一电子束在谐振腔本体中的束流轨迹，经加速器模块后第一电子束调整为第二电子束。聚焦模块用于对...
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