一种微焦点X射线的产生装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微焦点X射线的产生装置，该产生装置中电子注入模块用于向加速器模块注入第一电子束。谐振腔本体用于接收并加速第一电子束，偏转磁铁用于偏转第一电子束在谐振腔本体中的束流轨迹，经加速器模块后第一电子束调整为第二电子束。聚焦模块用于对第一电子束和第二电子束进行聚焦。目标靶模块位于第二电子束的运动路径中，用于基于第二电子束的激发产生微焦点X射线，微焦点X射线的聚焦尺寸L满足：L≤100μm。如此，通过谐振腔本体以及多级偏转磁铁形成的第二电子束的束流能量以及束流平均功率均较高，并在经过聚焦模块聚焦后可以实现微米级分辨率，可以实现大型精密设备内部细微结构和气孔的快速和无损检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及放射装置领域，尤其涉及一种微焦点x射线的产生装置。

技术介绍

1、工业ct (industrial computed tomography)作为一种最佳无损检测手段，能直观显示物体内部结构信息，可对缺陷进行定位和空间尺寸测量，广泛应用于航天、航空、核电、冶金、机械、电子、建筑和石油化工等的无损检测、无损评估与逆向工程等领域。

2、x射线源是工业ct成像的核心部件，主要是低能微焦点射线源、常规x射线管射线源和传统的高能加速器射线源。采用电子束在电场中加速打靶，韧致辐射转换成x射线。低能微焦点射线源(能量小于300kv)，焦点尺寸小分辨率高，但射线能量低，穿透能力低，常用于非金属小工件的检测。传统的高能加速器射线源焦点尺寸大(约2.0mm)，成像分辨率低，难以满足对大型精密设备内部细微结构和气孔的无损检测。

技术实现思路

1、本专利技术提供一种微焦点x射线的产生装置，通过谐振腔本体以及多级偏转磁铁形成的第二电子束的束流能量以及束流平均功率均较高，并在经过聚焦模块聚焦后可以实现微米级分辨率本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微焦点X射线的产生装置，其特征在于，包括：电子注入模块、加速器模块、聚焦模块和目标靶模块；

2.根据权利要求1所述的产生装置，其特征在于，所述加速器模块还包括功率源单元、检测单元、调谐单元以及处理单元；

3.根据权利要求2所述的产生装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的产生装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的产生装置，其特征在于，所述加速器模块包块n级所述偏转磁铁；n≥2且n为整数；

6.根据权利要求1所述的产生装置，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的产生装置，其特征在于，

8....

【技术特征摘要】

1.一种微焦点x射线的产生装置，其特征在于，包括：电子注入模块、加速器模块、聚焦模块和目标靶模块；

2.根据权利要求1所述的产生装置，其特征在于，所述加速器模块还包括功率源单元、检测单元、调谐单元以及处理单元；

3.根据权利要求2所述的产生装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的产生装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：高斌，胡源，邹昀，
申请(专利权)人：苏州益腾电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：