下载一种半导体集成电路的封装工艺的技术资料

文档序号:42478082

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本发明属于集成电路封装技术领域,提供一种半导体集成电路的封装工艺,包括:对硅片背面进行减薄,使硅片达到封装所需要的厚度,获得减薄后的硅片;对减薄后的硅片,利用切片机进行切割,获得切割后的硅片;将切割后的硅片,利用共晶固晶方式固定在封装基板中...
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