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本公开提供一种真空镀膜设备，包括：蒸发源、第一冷却循环回路以及第二冷却循环回路。所述蒸发源包括送丝机构，所述送丝机构用于将金属丝送至所述蒸发源的蒸发表面；所述第一冷却循环回路设置于所述真空镀膜设备内部，用于为所述蒸发源降温；所述第二冷却循环...
该专利属于安迈特科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安迈特科技（北京）有限公司授权不得商用。

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