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本发明提供一种碳化硅扩晶设备、碳化硅扩晶方法以及碳化硅扩晶工艺，所述碳化硅扩晶设备包括坩锅以及加热组件。坩锅包括主体以及盖体。主体具有适于放置碳化硅原料的原料空间。盖体适于置于主体的上方，且具有适于碳化硅晶种的容置空间以及位于容置空间下方的...
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