下载钝化层及外延片的制作方法、外延片、发光芯片和显示器的技术资料

文档序号:42474814

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本申请涉及一种钝化层及外延片的制作方法、外延片、发光芯片和显示器,其中在钝化层的制作方法中,在外延主体上形成氧化铝层,对氧化铝层进行第一退火处理,使得氧化铝层表面中铝‑氧化学键发生断裂,产生了游离的铝离子和游离的氧离子,为后续硅离子注入做好...
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